โครงการต่างๆ

ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ แม้แต่ไอออนโลหะ สิ่งเจือปนอนุภาค หรือสารปนเปื้อนอินทรีย์ในปริมาณที่น้อยมาก ก็อาจก่อให้เกิดผลเสียหายร้ายแรงได้ สิ่งเจือปนเหล่านี้สามารถเปลี่ยนแปลงเส้นทางการลำเลียงอิเล็กตรอนภายในชิป เพิ่มความต้านทาน และนำไปสู่ความร้อนสูงเกินไปและประสิทธิภาพลดลง สิ่งเจือปนยังสามารถทำให้เกิดไฟฟ้าลัดวงจรและปัญหาอื่นๆ ทำให้ชิปไม่สามารถทำงานได้ จากงานวิจัยที่เกี่ยวข้อง พบว่าการสูญเสียผลผลิตเนื่องจากปัญหาความบริสุทธิ์ของสารเคมีในกระบวนการผลิตชิปอาจสูงถึง 20% - 30% ซึ่งถือเป็นความท้าทายที่สำคัญสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการความแม่นยำสูงและผลผลิตสูง

บทบาทสำคัญของปั๊มขับเคลื่อนด้วยแม่เหล็กในนั้น

ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด ปั๊มขับเคลื่อนด้วยแม่เหล็กช่วยให้มั่นใจได้ว่าการขนส่งสารเคมีเป็นไปอย่างต่อเนื่อง การทำงานที่ต่อเนื่องและมีเสถียรภาพของปั๊มช่วยให้มั่นใจได้ว่าสารเคมีจะถูกจัดส่งอย่างทันท่วงทีตามความจำเป็นสำหรับกระบวนการต่างๆ หลีกเลี่ยงการหยุดการผลิตอันเนื่องมาจากการหยุดชะงักของการจัดหาสารเคมี ยกตัวอย่างเช่น กระบวนการสะสมฟิล์ม จำเป็นต้องจ่ายสารเคมีเหลวและก๊าซเฉพาะเจาะจงไปยังห้องปฏิกิริยาอย่างต่อเนื่อง การทำงานที่เสถียรของปั๊มสารเคมีช่วยให้กระบวนการสะสมมีความต่อเนื่อง ช่วยให้ฟิล์มเติบโตอย่างสม่ำเสมอ และรับประกันคุณสมบัติทางไฟฟ้าและความน่าเชื่อถือของชิป

ในฐานะปั๊มเคมีชนิดหนึ่งที่ได้รับความนิยมอย่างสูงในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ จุดเด่นที่สุดของปั๊มขับเคลื่อนด้วยแม่เหล็กอยู่ที่การออกแบบที่เป็นเอกลักษณ์เฉพาะตัวโดยไม่ต้องใช้ซีลเชิงกล ปั๊มใช้การเชื่อมต่อด้วยแม่เหล็กเพื่อส่งกำลัง และเพลาปั๊มและเพลามอเตอร์จะทำงานร่วมกันด้วยแรงแม่เหล็ก โดยไม่จำเป็นต้องใช้อุปกรณ์ปิดผนึกเชิงกลแบบดั้งเดิม การออกแบบที่ปิดผนึกอย่างสมบูรณ์นี้เปรียบเสมือนการเสริม “เกราะป้องกัน” ที่แข็งแกร่งให้กับสารเคมี ซึ่งช่วยลดโอกาสการรั่วไหลของสารตัวกลางได้อย่างแท้จริง ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ แม้แต่การรั่วไหลเพียงเล็กน้อยก็อาจทำให้เกิดปัญหามลพิษร้ายแรงได้ และการเกิดขึ้นของปั๊มแม่เหล็กจึงช่วยแก้ปัญหาอันตรายที่แฝงอยู่นี้ได้อย่างสมบูรณ์แบบ ในกระบวนการขนส่งโฟโตเรซิสต์ ปั๊มแม่เหล็กสามารถมั่นใจได้ว่าโฟโตเรซิสต์จะไหลอย่างเสถียรในท่อปิดโดยไม่มีการรั่วไหล จึงมั่นใจได้ว่าโฟโตเรซิสต์มีความบริสุทธิ์สูง ในการขนส่งกรดไฮโดรฟลูออริกเกรดอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความบริสุทธิ์สูง คุณสมบัติที่ปิดสนิทของปั๊มแม่เหล็กจะหลีกเลี่ยงการสัมผัสระหว่างกรดไฮโดรฟลูออริกและอากาศภายนอกได้อย่างมีประสิทธิภาพ ป้องกันการระเหยของกรดไฮโดรฟลูออริกและอันตรายต่อสิ่งแวดล้อมและบุคลากรที่อาจเกิดจากการรั่วไหล และในขณะเดียวกันก็รับรองว่าความบริสุทธิ์ของกรดไฮโดรฟลูออริกจะไม่ได้รับผลกระทบ ซึ่งเป็นการรับประกันที่เชื่อถือได้สำหรับกระบวนการกัดในภายหลัง